利用平行光检查灯在洁净室中发现微粒particle

作者：美国路阳时间：2021-11-23 12:35浏览2834 次

信息摘要：

很多行业的元器件，如半导体元器件、光学镜头、液晶面板等在制造过程中，空气中不允许有过多的灰尘颗粒；对于制造中的某些步骤，例如半导体，在清洗、载流子传输操作或涂覆光刻胶的过程中，由于空气中的颗粒会影响产品质量并造成重大损失。在洁净室中进行微粒检查的工作是必要的。

尽管洁净室非常干净，但是，洁净室中仍然存在极少量的灰尘。除了空气对流外，这些灰尘可能来自消耗品（例如手套和口罩）或由人体产生。（例如来自皮肤表面的死皮细胞）。

在洁净室中，一些没有气流的区域（死点）会慢慢积聚落尘。如果空气受到干扰，这些空气中的微尘会直接落到产品或工作人员身上，而不会被粒子计数器感应到。这些灰尘颗粒不易在洁净室内的空气中漂浮。当它们因静电或极性聚集在一起时，很难将粘性灰尘吹到排气口。

对于这种吸附的颗粒，不仅空气过滤器的收集效率低，而且粒子计数器也难以感应，而且这种颗粒一旦附着在重要的表面（如光罩）上，可能会影响产量。（路径越细，影响越大。）

如果操作者在一般的白光下很难从背景中分辨出灰尘颗粒，就无法有效地清洁灰尘，从而造成损失。因此，在洁净室中，如果可以使用特定波长的检测工具或小角度的平行光检查灯LUYOR-3320，就能有效检测产品上的粘尘，从而降低不良率。

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